磁悬浮转子真空计的研究历程

摘要

磁悬浮转子真空计被广泛应用于各个领域,在10;-1 Pa下具有相当高的精确度,以其优越的性能在其中占有重要地位,被广泛用于传递标准。然而,残余阻尼的存在严重影响了磁悬浮转子真空计的下限扩展,其中以涡流效应的影响最为显著,相对于涡流效应,测量产生的弛豫效应和科里奥利效应可以忽略不计。本文简要介绍了磁悬浮转子真空计的结构和原理,概述了其研究历程,重点阐述了残余阻尼和切向动量传递系数的相关研究,并分析并总结了一些重要因素对它们的影响。残余阻尼的相关研究主要从涡流效应、温度效应、弛豫效应、科里奥利效应和振动这几个方面进行了介绍;在切向动量传递系数方面上,主要说明了气体种类和压力对它的影响。最后提出了一些改进猜想及后续工作的研究方向。