CXG-1型磁悬浮转子真空计

摘要

磁悬浮转子真空计是一种采用微处理机技术的新型高精度真空计。本文介绍了CXG-1型磁悬浮转子真空计的工作原理、结构和电路设计,以及用Z-80单板机完成实时压强测量的方法。简述仪器性能测试的方法与结果。该仪器用于真空标准比对的传递规和真空量值传递的副标准规,也为高精度真空测量与控制提供了一种重要手段。