计量级磁悬浮转子真空计技术研究

摘要

磁悬浮转子真空计为国际公认的高真空范围溯源/传递标准,因其优良的计量特性和化学惰性,广泛应用于航空航天、核工业、半导体和高端装备制造等领域。针对高真空范围传递标准国产化需求,开展了永磁偏置转子稳定悬浮、转子轴向位移精确测量、转子转速衰减速率动力学模型构建及高精度检测等关键技术研究,为计量级磁悬浮转子真空计研制、实现高真空范围真空量值溯源/传递国际等效,进而建立我国现代先进的真空计量技术体系奠定基础。