双晶体膜厚控制仪

摘要

＜正＞ 本仪器采用双晶体型式,测量精度优于2％,稳定度高,重复性好。1.双晶体探头结构如图1所示,在探头体内装有使用晶体T1和比较品体T2,其间用隔板隔开。蒸发物经过蒸发孔蒸发到使用晶体上,但T2在隔板上方而不会被蒸镀。假设,真空室的温度不变,晶体上膜厚增加△T时,相当于晶体增加了一个等效厚度△d。其关系为