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高精度光学膜厚控制仪

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摘要

该设备结合数字滤波和信号处理技术，抑制了因背景等杂散光造成的电路扰动，同时采用先进的电路设计和光学调制技术，实现光学薄膜厚度的自动检测和闭环控制，从而达到薄膜厚度的在线监控，其主要技术指标如下：

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来源
《西安工业学院学报》|2006年第2期|178-178|共1页
作者

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作者单位

科研处（整理）;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;薄膜测量与分析;
关键词
薄膜厚度; 光学; 控制仪; 高精度; 信号处理技术; 电路设计; 数字滤波; 调制技术; 闭环控制; 自动检测;

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