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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
高精度控制; 应用光学; 光机所; 遗传算法; 控制精度; 面形误差; 国家重点实验室; 分布控制; 磁控溅射; 投影物镜;
机译:通过光热转换效应进行不透明的多层膜厚测量技术(第二次报告):通过声阻抗界面之间的共振模式分析进行的多层膜厚测量技术
机译:Co / Pd多层膜的膜厚方向特性分布评估
机译:Co / Pd多层膜的结构与沿膜厚的特征分布之间的关系
机译:减少和补偿用于极紫外光刻的高反射多层膜中膜应力的研究进展
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:紫外发光二极管用透明导电ITO / Ga2O3 / Ag / Ga2O3多层膜的电学和光学性质
机译:基于铍的多层膜用于垂直入射的极紫外反射率
机译:光学膜厚控制方法,光学膜厚控制装置,电介质多层膜制造装置以及使用该控制装置或制造装置制造的电介质多层膜
机译:光学膜厚控制方法,光学膜厚控制设备,电介质多层膜制造设备以及使用相同的控制设备或制造设备制造的电介质多层膜
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