高精度膜厚控制仪的设计与研究

摘要

本论文主要是讨论高精度膜厚控制仪的研究和设计，针对目前光学薄膜监控仪的分辨率低，很难对极值点进行判断，不能对镀膜过程中的数据进行存储，自动化的程度低、操作者劳动强度大，不能保证薄膜产品的质量等问题而研发的。为了解决这些问题，本论文首先设计了直流放大电路将微弱信号进行放大，提高其分辨率，然后利用数据采集卡PCL-6111对数据进行监测和算法处理，经过算法处理后使得极值点更加容易判断，然后利用VC++编写应用程序实现多线程采集和对镀膜过程中的原始数据膜进行自动保存，通过这些处理使得本论文所设计的高精度膜厚控制仪能够满足要求，准确的对膜厚进行监控。

目录

文摘

英文文摘

声明

第一章绪论

1.1光学薄膜厚度监控研究的现状

1.2课题的主要研究内容

第二章膜厚控制仪的原理和总体设计方案

2.1膜厚控制仪的研制目的和研究内容

2.2膜厚控制系统监控原理

2.3膜厚监控仪的系统设计

第三章 膜厚控制仪的数据采集与数据处理

3.1膜厚监控仪的系统控制流程

3.2数据采集系统

3.3 PCI-6111 数据采集卡

3.4数据采集系统的数据处理

第四章 膜厚控制仪监控系统的软件设计

4.1VC++7.0的选择依据及其监控系统的体系框架

4.2监控系统的多线程采集与动态存储

4.3 VC++与MATLAB的编程接口

4.4膜厚监控系统界面设计

第五章 膜厚控制仪的系统调试与实验结果分析

5.1 PCI-6111 采集卡的D/A与A/D校正

5.2 PCL-6111 数据采集卡的基地址设定

5.3关于系统软件的测试

5.4监控实验及其分析

5.5薄膜设计实验及其影响膜厚监控的因素分析

结 论

致 谢

参考文献