光照射と電圧によるKTN レンズパワー制御と波長掃引光源応用による高精度膜厚計測

摘要

Kta_(1-x)Nb_xO_3 (KTN) 結晶を用いた電気光学(EO)偏向器は，結晶内の屈折率分布を利用して透過光を偏向させるため，100mrad 超と大きな光偏向が可能である．また，機械的な偏向器では実現困難な，数百MHz レベルの高速偏向が期待できる[1]．我々はこの光偏向器を用いて，波長1.3μm 帯Swept Source Optical Coherence Tomography (SS-OCT)用の光源を開発している．これまでにKTN 光偏向器の早期・長時間安定動作に光照射が有効であることを示してきた[2]．本稿では，光偏向時に有する集光特性(レンズパワー)を光照射とDC 電圧によって制御し，共振器構成を変更することなく高精度な膜厚計測を実現した結果について述べる．