基于毛细力的芯片微操作方法研究

摘要

提出一种基于毛细力的芯片微操作方法,可实现微芯片的精准拾取、释放以及与尺寸匹配的基底的高精度自对齐。开发可精确模拟液桥形态的双迭代算法,求解微芯片操作过程中的拾取力与释放力,深入研究基于毛细力的微芯片的拾取以及释放的机理以及必要条件。研究液滴体积、基底接触角对微芯片拾取力和释放力的影响。结果表明,拾取力和释放力均随液滴体积的增大而增大,释放力随基底接触角的减小而增大。进一步通过试验验证基于毛细力的芯片微操作方法的可行性,研究液滴体积对微芯片操作的影响,并统计微芯片操作的成功率。基于毛细力的微操作方法在软体机器人、微机电系统、可穿戴设备的集成等领域具有潜在应用。