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基于毛细力的微操作装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于毛细力的微操作装置及方法,属于微操作技术领域,将液滴生成机构、移动操作机构和顶视图机构均设置在减振台上,在减振台上进行操作能够减小外部振动对微器件操作的影响,从而在毛细力的作用下完成对微器件的高效、高精度拾取、转移和释放。通过计算机能够集成控制微量推进泵、工业相机及三维电动位移平台,可实现微器件操作过程的自动化控制。本发明的基于毛细力的微操作装置结构简单,能够实现自动化控制,操作方便,易于实现工业化生产。

著录项

  • 公开/公告号CN110767597A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 陕西科技大学;

    申请/专利号CN201911206478.9

  • 发明设计人 常博;王彬开;周权;

    申请日2019-11-29

  • 分类号

  • 代理机构西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人范巍

  • 地址 710021 陕西省西安市未央区大学园

  • 入库时间 2023-12-17 07:04:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20191129

    实质审查的生效

  • 2020-02-07

    公开

    公开

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