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张小岗; Keith P.Johnston;
中国人民大学化学系;
Department of Chemica lEngineering;
Center for Nano and Molecular Science and Technology;
University of Texas at Austin;
Austin;
TX78712;
USA;
低介电材料清洗; 光刻胶干燥; 超临界二氧化碳;
机译:具有超临界二氧化碳的微电子器件的改进刻蚀方法
机译:开发微电子应用中的超临界二氧化碳处理
机译:超临界二氧化碳从水溶液中萃取金属的研究进展
机译:用超临界二氧化碳存在超临界二氧化碳作为加压流体的超声处理的水热过程降解壳聚糖
机译:通过超临界二氧化碳处理的纳米微孔低介电常数薄膜的光谱椭圆偏振分析,适用于下一代微电子设备。
机译:超临界二氧化碳处理产生具有增强的癌症特异性的顺铂水溶液
机译:溶液处理金属氧化物微电子:从材料到器件
机译:新一代系统中集成光学器件的爆炸
机译:超临界二氧化碳萃取回收番茄红素的研究进展
机译:通过依次用超临界二氧化碳,过氧化氢水溶液,氢氧化钠水溶液和乙醇处理,治疗骨骼组织,形成无脂质和无病毒的可植入生物材料
机译:用于超临界二氧化碳的表面活性剂,用于提高用二氧化碳流体清洗各种微电子结构的效率的方法
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