1mm圆柱式超声电机的研制及在OCT内窥镜中的应用

摘要

介绍了一种用压电柱作为定子的微型超声电机.这种超声微电机的直径1mm,长5mm,重量36mg.一端固定的电机其共振频率是32kHz,两端自由的是83kHz.在压电柱的表面均匀分割出四个电极,电极的间隔经过了优化设计.采用弯曲振动模式,该电机转速1800r/min,堵转力炬达到4μN·m,能承受350V_(pp)的驱动电压.该电机已用于OCT内窥镜样机中,驱动一个光学棱镜进行环向扫描,得到了塑料管和葱管内部的层析成像图,并且得到微米数量级的分辨率.