1mm压电柱式超声微电机的研制

摘要

介绍了一种新型超声波微电机的设计研制工作.这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径1mm,长约5mm,重量仅36mg.它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压.文章介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试.实验表明,该电机能承受最高350V的驱动电压,获得1800r/min的转速和4μNm的堵转力炬.此外,这种电机同具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5mm左右.