多层压电陶瓷驻波超声微电机的研究

摘要

主要研究了多层陶瓷双梁结构的超声驻波微电机。首先用有限元方法分析了该结构的振动模态，得到一适合电机运转的工作模式－电机定子的固有扭转模态。