φ1mm电磁型微电机定子绕组研制

摘要

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发φ１ｍｍ电磁型微电机定子绕组的制备工艺。采用高－高比光刻技术和掩模电镀工艺，解决了高－高宽比线圈的制备工艺，有效地降低了线圈的直流电阻，另外用Ａｌ２Ｏ３薄膜溅射工艺解决了线圈层间的绝缘，并且提高了线圈的抗发热等级。