超音波モータ：円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータ－バルク材の加工による円筒型圧電振動子の応用

摘要

本研究では、細径管への挿入が可能となること、高出力が見込まれることから円筒型のマイクロ超音波モータに着目している。 モータの駆動を行う振動子には、圧電セラミックスのバルク材を微細加工により円筒型振動子としたものを用いている。これまでに圧電振動子直径0.8mm、ケース外径1.8mmの超音波モータの試作·評価を行っている。