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匡永麟; 王晓冬; 黄海龙; 张鹏飞;
东北大学机械工程与自动化学院;
涡轮分子泵; 抽气性能; 传输几率; 数值计算; 面积加权法;
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机译:涡轮分子泵的非中心式改进泵级
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