一种分子泵的动叶列组及分子泵

摘要

本实用新型提供的一种分子泵的动叶列组及分子泵，属于分子泵技术领域，分子泵的动叶列组包括：第一叶列，至少具有一层；所述第一叶列包括第一中心圆盘和多个围绕所述第一中心圆盘周向设置的第一叶齿；所述第一叶齿的齿面为扭曲面；第二叶列，至少具有一层；所述第二叶齿的齿面为直面；本实用新型的分子泵的动叶列组，通过将第一叶列的齿面设置为扭曲面，可以实现增加沿第一圆盘中心的周向设置第一叶齿的数量，加大叶齿的倾角，加大节弦比，增加叶齿的表面积，达到提高叶列组的抽速；同时，所述第二叶列的第二叶齿的齿面仍设置为直面，有效的保证了加工制造成本。