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侯卓立; 周燕萍; 査强; 李茂林; 左超; 杨秉君; 吴胜利;
西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室;
爱发科(苏州)技术研究开发有限公司;
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台;
薄膜体声波滤波器; 感应耦合等离子体刻蚀; 氮化铝; 刻蚀速率;
机译:压电/超声波材料:AlN薄膜通过反应性溅射,应用薄膜体弹性波谐振器的制造(FBAR)
机译:预沉积射频等离子体刻蚀对压电AlN薄膜晶片表面形态和晶体取向的影响
机译:Mg和Zr共掺杂对体声波谐振器压电AlN薄膜的影响
机译:薄膜体声波谐振器中AlN薄膜的纳米机械和压电特性的表征
机译:氧化锌压电薄膜表面声波滤波器的研究
机译:具有SU-8 / PDMS支持层的集成压电AlN薄膜用于柔性传感器阵列
机译:基于压电薄膜器件激励的体声波的mEms传感器物理性能,性能及应用研究
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:包含压电薄膜滤光片和组合模块的分支滤波器,其中压电薄膜滤光片具有压电薄膜谐振器或表面声波滤波器,具有表面声波谐振器
机译:薄膜压电振动器和薄膜压电体声波谐振器以及使用该压电谐振器的高频滤波器
机译:使用氮化铝(AlN)/氢化氮化铝(AlN:H)/氮化铝(AlN)的三层薄膜制造表面声波滤波器的方法
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