MEMS安全起爆芯片技术研究

摘要

针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种MEMS安全起爆芯片,包括Ni-Cr微加热器层、绝缘层、导线控制层。采用共聚焦显微镜、原子力显微镜、台阶仪对MEMS安全起爆芯片的形貌、表面粗糙度、厚度进行了表征分析,并进行了安全发火性能测试,测试结果表明:MEMS平面开关可以实现通断转换,安全起爆芯片的全发火电流为0.8 A,全发火电压7 V,作用时间22μs。MEMS安全起爆芯片能够提高本质安全性,可以为MEMS火工品提供技术支撑。