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一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究

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摘要

在分析了微机械陀螺机械耦合误差产生原因的基础上，提出了一种解耦梁方案，可以从结构上消除振动式微机械陀螺敏感模态对驱动模态的耦合影响；基于该解耦梁方案设计了一种新型的Z轴微机械陀螺结构．分析表明，该陀螺结构消除了敏感模态对驱动模态的耦合影响，实现了解耦设计的目的．

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来源
《传感技术学报》|2006年第5b期|P.2220-2222|共3页
作者
谢建兵; 苑伟政; 常洪龙;
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作者单位

西北工业大学,微／纳米系统重点实验室,西安710072;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
微机械陀螺; 机械耦合; 模态耦合; 解耦梁;

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