IntelliSuite(R) EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具

徐帆; 张善亮; 周磊; 徐波

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IntelliSuite(R) EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具

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将IntelliSuite(R) EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取真实形变结构的S参数的方法.并用这种方法分析了RF开关的一种经典结构,取得了不错的效果,同时填补了国际上相关领域的空白.

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来源
《传感技术学报》|2006年第5期|1892-18951899|共5页
作者
徐帆; 张善亮; 周磊; 徐波;
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作者单位

江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025;

江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025;

江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025;

江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
RF; MEMS; 数值计算; S参数;

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