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状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

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MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.

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来源
《传感技术学报》 |2006年第5期|1337-13391343|共4页
作者
冯仁剑; 于尚民; 万江文; 吴银锋;
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作者单位

北京邮电大学自动化学院,测控与通信微系统研究中心,北京,100876;

北京邮电大学自动化学院,测控与通信微系统研究中心,北京,100876;

北京邮电大学自动化学院,测控与通信微系统研究中心,北京,100876;

北京邮电大学自动化学院,测控与通信微系统研究中心,北京,100876;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子元件、组件;
关键词
MEMS静电驱动; 瞬时特性; 状态反馈; 输入量控制; 状态空间;

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