一种基于柔性基板弯曲条件下的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性基板弯曲条件下的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法，主要包括两个步骤：其一是建立基于RF MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形的形变耦合模型，实现RF MEMS静电驱动开关与柔性基板之间关键结构参数变化量的提取。其二是基于RF MEMS静电驱动开关弯曲特性模型，获得RF MEMS静电驱动开关/基板双变形的形变量。通过以上参数为基础，重建RF MEMS静电驱动开关微波特性模型，分析弯曲变形对RF MEMS静电驱动开关微波特性的影响。本发明提供了一种基于复杂环境空间，包含RF MEMS静电驱动开关与柔性基板双变形模型的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法。