组合结构的牺牲层释放腐蚀修正模型

林守锋; 郁发新; 马慧莲; 王跃林; 金仲和

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组合结构的牺牲层释放腐蚀修正模型

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Eaton等人曾给出了HF溶液腐蚀SiO2牺牲层的释放腐蚀模型,然而实验中发现该模型并不能较好地符合实验数据.经分析发现该模型中扩散系数和反应速率常数不能如实反映温度的变化,而且实验中观察到腐蚀前端形状并不总是平面.通过对模型中这些因素的修正,建立起修正模型,证实修正模型比Eaton给出的模型更符合实验结果

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来源
《传感技术学报》 |2006年第1期|81-86|共6页
作者
林守锋; 郁发新; 马慧莲; 王跃林; 金仲和;
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作者单位

浙江大学信息科学与电子工程系,杭州,310027;

浙江大学信息科学与电子工程系,杭州,310027;

浙江大学信息科学与电子工程系,杭州,310027;

浙江大学信息科学与电子工程系,杭州,310027;

浙江大学信息科学与电子工程系,杭州,310027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
牺牲层; 释放腐蚀; 模型; 腐蚀前端;

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