一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟

摘要

提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构,与传统传感器相比,新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗.在输入相同功率的情况下,模拟了热电堆的温度分布,三明治结构热电堆的温度高于传统结构,因此具有更高的灵敏度.同时模拟了两种结构的阻抗匹配特性,其差异不大,在1～6 GHz的频率范围内,三明治结构的回波损耗小于-30 dB;在6～20 GHz的频率范围内,其回波损耗小于-20 dB,显示了良好的匹配特性.