GaAs MEMS微波功率传感器的设计与模拟

摘要

已有的微机械直接加热终端式微波功率传感器是基于CMOS工艺的,该结构基于GaAs MMIC工艺,它可以与GaAs微波电路实现单片集成. 它的基本工作原理是热电效应,制备中使用了GaAs体加工技术来减少热量损失.并用软件对其温度场和反射系数进行了模拟.该传感器用于X波段,它的输入功率是0到50 mW, 灵敏度为0.54 V/W,输入端S11参数约为-15 dB.