两步化学沉积法制备ZnO薄膜及其场发射特性

摘要

在低温常压条件下,以ITO玻璃为衬底,采用电化学法与湿化学法结合的两步化学沉积法制备了团簇状ZnO薄膜.利用XRD,SEM分析了薄膜结构和表面形貌,并采用二极管结构在高真空条件下对薄膜进行了场发射性能测试.稳定发射后,开启电场为3.0 V/μm.当电场为5.8 V/μm时,电流密度为583.3 μA/cm2.研究表明:两步化学沉积法低温制备ZnO薄膜是可行的,且该薄膜具有良好的场发射性能.