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汪祖民; 韩泾鸿; 任振兴; 杨海钢; 夏善红;
中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080;
中国科学院研究生院,北京,100049;
离子敏场效应管; 功能膜; 微电子机械系统; 五氧化二钽; 聚四氟乙烯;
机译:通过CMOS兼容工艺在pH-ISFET上制备的纳米晶体TiO_2传感膜极低的漂移和高灵敏度
机译:用MEMS工艺制备Si3N4的人工基础膜用ZnO纳米玻璃制备
机译:MEMS应用Pb(Zr {sub} xTi {sub}(1-x)O {sub} 3厚膜的制备中关键工艺参数的研究
机译:基于溶胶 - 凝胶制备的SnO_2膜的pH-IsFET的温度效应
机译:实习三。将生物活性分子固定在介孔分子筛中并制备定向的MAPO-39膜。实习二。卤化和有机磷化合物的处理,铝涂层的ECAFM研究和钛研磨工艺研究。实习一。用于气体分离的聚-3-(烷基噻吩)膜:结构/性质研究
机译:喷雾冷冻制备液体制备聚乙二醇聚合物颗粒的工艺参数研究
机译:吹膜和流延膜工艺获得的聚丙烯形态的研究:拉伸制备多孔膜的初始形态要求
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。
机译:制造REFET或CHEMFET的方法以及制造的REFET或CHEMFET
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