有机膜在pH-ISFET中的应用研究

摘要

随着人们对有机材料的性质认识的深入,有机物在传感器领域的应用也不断加宽.本文以不同工艺在差分结构pH-ISFET芯片敏感区域固定了有机膜.测量结果发现,在pH1-12范围内,以电化学法制备的PPy材料pH敏感膜,对pH的响应为54mV/pH,对K+、Na+离子响应小于2mV/dec;以磁控溅射法制备的PTFE材料pH钝化膜,对pH的响应为0.13mV/pH,时漂小于1mV/h.同时,分析了有机膜的的敏感机理及影响有机膜性能的各种因素.