公开/公告号CN113433796A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN202110308097.2
申请日2021-03-23
分类号G03F7/004(20060101);G03F7/11(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇;李茂家
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 12:42:10
机译: 有机膜形成化合物,使用其的有机膜材料,有机膜形成方法,图案形成方法
机译: 有机膜材料,有机膜形成方法,图案形成方法和化合物
机译: 有机膜材料,有机膜形成方法,图案形成方法和化合物