基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器

摘要

本发明提供一种基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜，包括软膜和嵌入软膜内部的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。