MEMS微拾振器制备工艺研究

摘要

采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺.研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2 000 μm,宽600 μm,硅膜厚度12 μm,PZT压电膜厚1.5 μm,Ni质量块长600 μm、高500 μm.测试表明其固有频率为610 Hz,适合低频振动源环境的应用.在1 gn加速度谐振激励下,电压输出达562 mV.