MEMS Lab, Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, 100084, China;
magnetometer; tunneling effect; MEMS;
机译:基于基于铅的X射线掩模的X射线光刻和干膜转移至PCB工艺的静电MEMS微致动器的制造
机译:基于MEMS的电化学方法,用于在硅上制造叠层微电感器
机译:基于氢化非晶硅锗薄膜的微结构的制造工艺,用于MEMS器件
机译:基于隧道效应的MEMS微磁力计设计优化和制造过程研究
机译:铝MEMS微镜的表面微加工制造工艺。
机译:基于视觉对准技术的MEMS皮肤摩擦传感器的制作与超音速风洞验证
机译:基于视觉对准技术的MEMS皮肤摩擦传感器的制造和超声风隧道验证