基于硅纳米线的 MEMS矢量水听器设计与微纳跨尺度制备工艺研究

目录

声明

1 绪论

1.1课题研究的意义

1.2矢量水听器的研究发展概况

1.2.1 矢量水听器国外研究现状

1.2.2 矢量水听器国内研究现状

1.3硅纳米线几种制备工艺

1.4本课题主要研究内容

2 基于硅纳米线MEMS矢量水听器的工作原理及分析

2.1基于硅纳米线MEMS矢量水听器的工作原理

2.1.1纤毛式MEMS水听器仿生原理

2.1.2水声理论基础

2.1.3 水声信号拾振原理

2.1.4 纤毛式 MEMS 矢量水听器的传感

2.2半导体压阻传感器与巨压阻效应表面耗尽机制理论建模分析

2.2.1压阻效应与压阻式传感器

2.2.2硅纳米线表面耗尽机制理论建模分析

2.3本章小结

3 基于硅纳米线 MEMS 矢量水听器的设计

3.1梁上应力分析

3.2基于硅纳米线MEMS矢量水听器频率特性分析

3.3基于硅纳米线MEMS矢量水听器尺寸仿真与确定

3.4本章小结

4 基于硅纳米线 MEMS矢量水听器的工艺加工

4.1基于硅纳米线MEMS矢量水听器的版图设计

4.2 MEMS 矢量水听器硅纳米线的制备工艺流程

4.3硅纳米线的电子扫描显微镜形貌观测

4.4基于硅纳米线MEMS矢量水听器的整体工艺设计与加工

4.5本章小结

5 基于硅纳米线 MEMS矢量水听器的形貌与电参数表征

5.1基于硅纳米线MEMS矢量水听器的形貌观测

5.1.1普通共聚焦显微镜观测

5.1.2扫描电子显微镜（SEM）形貌观测

5.2硅纳米线压阻测试与压敏测试

5.2.1硅纳米线压阻测试

5.2.2硅纳米线压敏测试

5.3本章小结

6 总结与展望

6.1工作总结

6.2本文创新点

6.3 工作展望

（3）金属引线的优化

（5） 进行传感器封装的设计与实际信号的测试

（6） 本论文的主要研究目的是进行硅纳米线的 MEMS 水听器工艺的初步探索，并检验整体工艺的可行性，为后续实现高灵敏MEMS矢量水听器的稳定工艺打下基础。

参考文献

攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果

致谢