金刚石薄膜紫外光探测器电流-电压特性的研究

唐可; 王林军; 黄健; 马莹; 胡广; 祝雪丰; 夏义本

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采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了1.8 μm、2.5 μm和3.1 μm三种晶粒尺寸的金刚石薄膜,并制作了共平面光电导探测器.采用光学显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌.电流-电压(I-V)特性测试结果表明,探测器性能与金刚石薄膜晶粒大小密切相关,随着晶粒尺寸的增加,光电流/暗电流之比以及净光电流均提高.

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来源
《电子器件》 |2008年第5期|1405-1408|共4页
作者
唐可; 王林军; 黄健; 马莹; 胡广; 祝雪丰; 夏义本;
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作者单位

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

上海大学材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海,200072;

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正文语种 chi
中图分类半导体探测器（晶体探测器）;
关键词
金刚石薄膜; 紫外光探测器; 晶粒尺寸; 电学性能;

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