SOI技术的发展思路

摘要

对SOI技术的发展情况进行了概述.在此基础上,提出了新形势下SOI技术的发展思路.为了充分发挥SOI技术的优势,主要的思路是对影响器件稳定性的因素采取抑制方法、通过新结构和新材料的研究来应对硅基集成电路的固有弱点、通过关键技术攻关来应对SOI技术应用于射频及模拟和M/S电路时的物理模型问题、通过创新来推进SOI技术与新技术领域的融合.