光刻胶也被“卡脖子”中国企业该怎么办?

摘要

在全球半导体分工体系中,目前主要是由日本企业承担设备和原料部分的生产,尤其是光刻胶领域,基本为日本企业所垄断:在高端光刻胶领域,一类是处理起来较为简单的KrF光刻胶,日本企业约占全球产能的83%;另一类难度更高的ArF光刻胶,则几乎100%是由日本企业在生产。