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陈辉; 张征; 万烨; 孙强; 张晓伟; 张邦洁; 王浩; 裴蕾;
洛阳中硅高科技有限公司 河南洛阳417023;
中国恩菲工程技术有限公司 北京100038;
电子级多晶硅; 制备; 三氯氢硅氢还原法; 影响因素;
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