多晶硅制备过程中三氯氢硅精馏品质和产量提升的研究

摘要

本文主要介绍了研究的背景，综述，三氯氢硅精馏工艺的模拟优化，三氯氢硅精馏系统洁净对产品质量的影响等内容。