一种能提高产品质量的三氯氢硅精馏塔

摘要

一种能提高产品质量的三氯氢硅精馏塔，属于化工生产的精馏塔设备技术领域，用于降低三氯氢硅产品中的碳含量。其技术方案是：本实用新型在精馏塔塔体中增加了至少两层填料层和相配套的塔内附件，塔体高度相应增加，塔体内填料层数量增加，可以增加塔内气液交换的时间及效率，由塔顶下降的液流与由塔底上升的汽流逆流于填料表面接触并进行传热、传质。在温度差的作用下，使液相多次部分汽化，汽相多次部分冷凝，以此将高碳物料富集于塔底，从而自回流处采出低碳含量的产品三氯氢硅。本实用新型有效地去除了三氯氢硅产品中的碳元素含量，提高了产品质量，使产品中的三氯氢硅碳含量＜2PPm，为下游工艺提供了高纯度原料，具有显著的经济效益。