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微波技术在多晶硅制备过程中应用研究

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摘要

多晶硅的制备过程是光伏产业链的重要组成部分,本文在概述微波与材料相互作用机理基础上,以硅材料中多晶硅制备过程为例,提出多晶硅生产中现有方法存在的问题,并对微波技术在多晶硅制备中的应用,以及微波反应器研究进展进行了阐述,最后展望了微波技术在多晶硅制备过程的应用前景.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2016年第6期|43-47|共5页
作者
蔺琎; 亢若谷; 彭金辉; 苏杰; 郭胜惠;
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作者单位

昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,云南昆明650093;

昆明理工大学工程训练中心,云南昆明650093;

昆明冶研新材料股份有限公司,云南昆明650000;

昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,云南昆明650093;

昆明冶研新材料股份有限公司,云南昆明650000;

昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,云南昆明650093;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微波加热与红外线加热设备;
关键词
微波技术; 多晶硅; 制备; 反应器;

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