一种电子级多晶硅生产过程中氢气净化设备碳吸附塔

摘要

本发明公开了一种电子级多晶硅生产过程中氢气净化设备碳吸附塔，包括呈筒体形式结构的塔体，所述塔体内部设有五组油输入管、五组油输出管和三十一根换热管，所述塔体外壁采用夹套形式，所述油输出管与输入管与塔内换热管及夹套相连接，所述塔体内部使用活性炭填充其余空间。本发明提高氢气纯度、降低氢气中杂质、提高系统的安全性、延长系统连续运行周期。