溅镀膜厚控制:高质量光盘溅镀闭环功能

摘要

正光盘产业的特点是有一个快速增长而又充满活力的 市场。过去几年中,光盘的格式已经发生了很快 的变革,新的格式包括双层DVD+R、HD DVD和蓝光 光盘,把光盘的存储密度的极限推向更高。人们希望光 盘制造设备可以被更新来生产改进的格式和新格式的 光盘。有更高密度和更高速度的格式的光盘往往也要 求其相关的物理参数有更严格的公差。光盘生产设备 的硬件,工艺和软件的解决方案必须使光盘生产有高 的质量、高的成品率、低的生产成本,并且使操作员的 干预最少。因此,一个优秀的生产系统的先决条件是确 保整个生产过程全部在自动控制下完成。要达到这个 目标,关键是把精密的测量工具灵巧地组合到光盘生 产线中去。