一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置

摘要

本实用新型提供了一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。本实用新型不仅能在被溅镀物的表面上一次形成均匀薄膜，还能利用为具有特定倾向性而折弯成任意角度的2个相对的面的夹具，形成具有特定倾向的薄膜。本实用新型能够使被溅镀物的电极部分免被溅镀物涂布，无需在被溅镀物上另设罩子。