基于LM算法的无氢类金刚石薄膜喇曼高斯分解

摘要

介绍高斯分解及基于LM算法的数值计算方法,并对无氢类金刚石薄膜的喇曼光谱曲线进行了分解.结果表明,数值计算的收敛性较好,数值拟合的相关系数均大于95%,完全可以用于类金刚石薄膜的微观结构分析.根据分解结果可知,随着偏压的增加,D带和G带的分布中心均向低频偏移,而G带和D带的半高宽之比呈逐渐增大趋势.这表明膜层中sp3键的含量不断提高,同时键的扭曲程度不断增大.