MEMS耦合场分析与系统级仿真

孙道恒

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MEMS耦合场分析与系统级仿真

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微机电系统的计算机辅助设计是MEMS真正走向市场的重要基础.耦合场分析与系统级仿真是MEMS CADCAD中2个最关键的环节.概括了MEMS CAD的体系结构;综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围;着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的2个基本模型的基本思想、构造方法,分析了各自的优缺点,指出今后有待继续研究的几个问题.

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来源
《中国机械工程》 |2002年第9期|765-768|共4页
作者
孙道恒;
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作者单位

厦门大学;

福建省厦门市;

361005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机电一体化;
关键词
微机电系统(MEMS); 多场耦合; 系统级仿真; CAD;

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