MEMS耦合场分析与系统级仿真

摘要

微机电系统的计算机辅助设计是MEMS真正走向市场的重要基础。耦合场分析与系统级仿真是MEMS CAD中两个最关键的环节。该文概括了MEMS CAD的体系结构；综述了耦合场计算的常用数值方法及应用范围：着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法、分析了各自的优缺点，指出今后有待继续研究的几个问题。