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江明凡; 徐启华;
不详;
平衡膜片; 硅共振; 压力传感器 ;
机译:硅中的平衡双隔膜谐振压力传感器
机译:基于硅膜片的光纤法布里 - 珀罗压力传感器有限元分析
机译:不同膜片尺寸的多晶硅压阻压力传感器灵敏度和非线性的实验评估
机译:基于灵敏度和共振频率对膜片尺寸依赖性的导波光学压力传感器设计方法
机译:光纤压力传感器膜片的热机械设计研究。
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:膜片挠度的新解析解及其在表面211微加工压力传感器中的应用
机译:压力传感器半导体压力传感器具有通过在硅膜支架上蚀刻而形成的中心腔,并延伸至测量膜片
机译:半导体压力传感器,例如,作为车辆发动机进气中的进气压力传感器,具有半导体基板,膜片部分,应变仪,电路部分以及硅膜的局部氧化
机译:陶瓷压力传感器具有由硅制成的环形接头,该环形接头通过低温共烧陶瓷接头与测量膜片和基础结构连接,并通过金硅共晶接头与基础结构连接
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