DAS研发出面向湿式蚀刻清洗工艺的新型使用端有害气体清除系统

摘要

位于德国德累斯顿的DASEnvironmentalExpert公司是半导体行业废气处理企业，该企业研发出名为SALIX的新型系统。SALIX是一种有害气体清除系统，主要针对湿式蚀刻清洗台应用。SALIX利用化学和物理吸附的两阶段洗涤流程，在其源头从气流中直接清除有害物质。借助分离式出风口，有害气体从湿式蚀刻清洗台的加工腔室进入预洗涤器，后者通过使用喷嘴对气体进行预清洁。从这里开始，